• Document: Физические основы технологии интегральных систем
  • Size: 674.64 KB
  • Uploaded: 2018-11-28 05:30:00
  • Status: Successfully converted


Some snippets from your converted document:

Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное агентство по образованию Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова Кафедра микроэлектроники Физические основы технологии интегральных систем Задачник Рекомендовано Научно-методическим советом университета для студентов, обучающихся по специальности Микроэлектроника и полупроводниковые приборы Ярославль 2008 1 УДК 539.2 ББК З 844я73 Ф 48 Рекомендовано Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного издания. План 2008 года Рецензент кафедра микроэлектроники Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова Составитель С.П. Зимин Физические основы технологии интегральных сис- тем: задачник / сост. С.П. Зимин; Яросл. гос. ун-т. – Яро- Ф 48 славль: ЯрГУ, 2008. – 36 с. В задачнике содержатся задания и справочные материа- лы для самостоятельной работы студентов при изучении физических основ микроэлектронных технологических процессов. Предназначен для студентов 3 курса, обучающихся по специальности 010803 Микроэлектроника и полупровод- никовые приборы (дисциплина «Основы технологии инте- гральных и низкоразмерных систем», блок ОПД), очной формы обучения. Ил.9. Библиогр.:14 назв. УДК 539.2 ББК З 844я73 ©© Ярославский государственный университет, 2008 2 Материалы задач расположены в соответствии с разделами лекционного курса и предназначены для закрепления теоретиче- ского материала. Каждый студент обязан выполнить решение од- ного из вариантов по каждой из трех предложенных тем. Для ре- шения необходимо использовать рабочие формулы (графики, таблицы), обсуждаемые на лекциях, или находящиеся в учебных изданиях из приведенного списка литературы. Некоторые спра- вочные материалы студент найдет в конце задачника. При работе стоит обратить особое внимание на физическую сторону полу- чаемых решений, на возможность реализации данных величин в технологических процессах. Часть задач содержит провокацион- ные условия. Студенту в этом случае необходимо представить физически обоснованные доводы, почему эта задача не может быть решена, что надо изменить в условиях для корректного ре- шения. При формировании сборника использовались задачи, со- ставленные автором, и упражнения из [1 – 9], [14]. Решение задач выполняется студентом на отдельных листах, которые сдаются преподавателю в назначенный срок. При выяв- лении ошибок проводится работа над неверно решенными зада- чами, и листы с решениями вновь возвращаются преподавателю. Предпочтение следует о

Recently converted files (publicly available):